在進入主題之前，我首先要澄清一下，這里的“激光粒度儀”是指基于靜態(tài)光散射或衍射原理的粒度分析儀器, 測量范圍從大約100納米到幾毫米。與之容易混淆的還有另一種也是以激光作為照明光源的粒度分析儀器——動態(tài)光散射粒度儀，在國內(nèi)通常叫作納米粒度分析儀。本文探討的產(chǎn)品是指前者。

    一提起的科學儀器，大多數(shù)國人都認為進口的國外儀器比國產(chǎn)儀器。但是，對激光粒度儀，我可以很負責任地說，總體上國產(chǎn)儀器與進口儀器水平相當，有些國產(chǎn)品牌甚至優(yōu)于世界同行。國外產(chǎn)品的價格確實高，但是技術性能一點都不高。所以，某些國家如果想在激光粒度儀上卡中國的脖子，不僅對中國的粒度儀應用產(chǎn)業(yè)絲毫無損，而且還會自行斷送國外品牌在中國的市場，對中國的上下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展只有好處，沒有壞處。

    能不能制造出高水平的科技產(chǎn)品，關鍵點有三：一是產(chǎn)品的設計，二是供應鏈（配套原材料），三是制程管理。

    就原料供應來說，國內(nèi)國外的粒度儀廠商都是全球采購的，相互之間沒什么差別。具體來說，集成電路和部分電子元件大多是國外生產(chǎn)的，機械零件和光學鏡頭大多是中國生產(chǎn)的，有些國外品牌甚至連整機都是在中國境內(nèi)、由中國工人完成組裝調(diào)試的。某些國產(chǎn)品牌為了宣傳自己的粒度儀“高大上”，聲稱光學鏡頭是某發(fā)達國家生產(chǎn)的，不知真假？但愿是假的；如果是真的，那真要為之惋惜了。其實，國產(chǎn)光學鏡頭能夠滿足激光粒度儀的使用需求。就連某些的進口品牌的鏡頭都是中國產(chǎn)的，說明國外同行早就認可中國鏡頭的質(zhì)量。你又何必花高價到國外采購呢？要說卡脖子，電子元器件真是國產(chǎn)科學儀器“脆弱的要害部位”。激光粒度儀要用到的激光二極管，一些模擬集成電路，單片機等，都需要進口。但這不是我們激光粒度儀的廠商能夠解決的。

    至于制程管理，需要經(jīng)驗的積累和精益求精的態(tài)度。國產(chǎn)品牌或者其主要負責人，進入激光粒度儀行業(yè)都已超過20年，而且有些人曾在國外同行企業(yè)工作，再笨也學會該如何管理了，更何況中國人還是挺聰明的，至少不會在智力上輸給西方人。對產(chǎn)品質(zhì)量的態(tài)度，我認為幾家主要的國產(chǎn)品牌都是很認真的?；蛟S是激烈競爭的原因，大家都迫切地希望用戶使用自己的產(chǎn)品時有良好的體驗：、穩(wěn)定、可靠。說到用戶體驗，我要提一句提外話：目前進口產(chǎn)品在售后服務上給用戶的感覺都不太好：不僅服務不及時，態(tài)度不友好，而且收費巨貴。在這一點上，國外品牌就大大比不上國產(chǎn)品牌了。

    一點就是激光粒度儀的設計了，這是硬核技術，也是本文要談的重點。在供應鏈和制程管理不相上下的情況下，設計水平的高低決定了激光粒度儀的技術性能的高下。

    下面將正式展開對國內(nèi)外激光粒度儀的認知和設計水平的比較。表述聽起來可能比較“學究”，請讀者諸君諒解。這是因為不用的表達，就無法把其中的要點說清楚，就會顯得模棱兩可，給人留下質(zhì)疑的空間。但是我會盡量表達得通俗一點。

1. 激光粒度儀的光學模型及簡要歷史回顧

    粒度儀器有多種原理，但大多數(shù)都把被測量的顆?？闯梢粋€理想的圓球。盡管實際的顆粒很少是理想圓球，有的甚至遠遠偏離圓球，但是由于顆粒的數(shù)量太大，形狀也是千變?nèi)f化，如果連形狀都要考慮進去，是一件無法完成的工作，所以只能把顆粒當作圓球來處理。激光粒度儀也是把顆粒當成理想圓球來處理，大部分品牌都一樣。

1.1 光散射的模型

    光是電磁波。在均勻的介質(zhì)中，光是沿著直線傳播的。如果光在傳播的途中遇到一個顆粒，光和顆粒就會發(fā)生相互作用，光波一部分可能被顆粒吸收，一部分則偏離原來的方向繼續(xù)傳播，后者就稱為“光的散射”。這種相互作用遵循電磁波理論，即麥克斯韋方程組。只要顆粒尺寸遠大于原子尺度，并且沒有原子激發(fā)輻射（熒光）現(xiàn)象發(fā)生，那么，電磁波理論的正確性是不容置疑的。平面電磁波遇到圓球顆粒后發(fā)生的散射現(xiàn)象，可以有嚴格的數(shù)學解，稱作“Mie散射理論”。不過這個解在數(shù)學形式上非常復雜、計算量龐大，物理意義很抽象。在顆粒直徑遠大于光波長時，散射現(xiàn)象可以用幾何光學近似理論解釋，這樣物理意義就變得很直觀了。

    請看圖1。在顆粒遠大于光波長的情況下，顆粒對光的散射，可以分成兩個部分：衍射和幾何散射。從無限遠（遠場）的位置觀察，衍射光的偏離角度只跟顆粒在觀察面上的投影的大小有關，顆粒越小，衍射角越大，這部分信息可以用來分析顆粒的大小。幾何散射光是指光線投射到顆粒表面以后，一部分發(fā)生反射，另一部分經(jīng)過折射進入顆粒內(nèi)部，又在另一個界面上發(fā)生折射（到介質(zhì)）和反射的現(xiàn)象。散射光場是這兩部分光的疊加。圖1中只畫出了衍射光和一次折射光。從遠場看，幾何散射光的相對強度分布與顆粒大小無關，只與顆粒的折射率與吸收系數(shù)有關。另外，當顆粒很大時，衍射光的分布范圍遠遠小于幾何散射光的分布范圍，但是由于兩種散射光的總能量相同，所以從小角度看，衍射光的強度要遠遠大于幾何散射光的強度。這也是在小角度范圍內(nèi)觀察大顆粒的散射光時，可以只考慮衍射光的原因。

圖1 光散射模型的幾何光學近似

    激光粒度儀在上世紀70年代初剛出現(xiàn)時，只考慮衍射光，所以顆?？梢钥闯梢粋€不透光的圓片，見圖2。根據(jù)光學上的巴比涅互補原理，一個不透光的圓片所產(chǎn)生的衍射場與同直徑的圓孔所產(chǎn)生的衍射場只在位相上差180°，振幅則相同。激光粒度儀直接測量的是光強的分布，它是振幅的模的平方，跟位相沒關系，所以一個直徑為D的顆粒所產(chǎn)生的衍射光強的分布可以用等直徑的圓孔產(chǎn)生的光強分布來代替。

圖2 從圓球散射到圓孔衍射的簡化

    圓孔的衍射在19世紀末就有解析形式的理論表達。遠場的衍射理論稱為“夫朗和費衍射理論”。圖2還表示出了觀察遠場衍射的經(jīng)典裝置：在圓孔后放置一個光學透鏡，在透鏡的焦平面上放置觀察屏，這樣在屏上看到的圖像就是遠場衍射光斑。衍射角度為的衍射光落在屏上的位置到屏的中心的距離為（ 是透鏡的焦距）。順便科普一個光學名詞：如果透鏡是對焦平面消像差的，該透鏡就稱為“傅里葉透鏡”。

    從圖2可以看到，遠場的衍射光斑由中心亮斑和一系列同心圓環(huán)組成，被稱為“愛里斑”。理論上可以證明，愛里斑的個暗環(huán)內(nèi)包含了大約84%的衍射總光能，所以習慣上把個暗環(huán)所對應的衍射角稱為愛里斑的（角）半徑。愛里斑的半徑與圓孔直徑、也就是顆粒的直徑近似成反比，因此屏上的光強分布與顆粒大小之間有一一對應關系。激光粒度儀就是根據(jù)這個原理分析顆粒大小的。

1.2 國內(nèi)外激光粒度儀的發(fā)展史

    一個10微米的顆粒，如果用0.633微米（紅光he-Ne激光波長）的光去照射，那么衍射角就是4.4°；100微米的顆粒，衍射角就是0.44°了。臺激光粒度儀直到1970年前后(的年份有幾種說法)才出現(xiàn)，就是因為它首先需要一種單色性、方向性都足夠高、強度足夠強的光源，這就是激光。所以它只能出現(xiàn)在激光器問世（1961年）之后。另外，探測衍射光場的分布需要硅光電探測器陣列，需要用到集成電路制作工藝；把衍射光的分布轉(zhuǎn)換成粒度分布需要臺式計算機，這些條件都是1960年以后才出現(xiàn)的。

    國內(nèi)早開始激光粒度儀研制的是天津大學的張以謨團隊，當時是承接了國家科委的六五（1981年到1985年）科技攻關項目。項目于1989年通過了國家科委的技術鑒定。產(chǎn)品名稱當時叫做“激光滴譜儀”，設定的應用對象是液體霧滴的粒度測量。比天津大學略晚開展激光粒度儀研制的單位還有上海機械學院（后改名“上海理工大學”）、山東建材學院（后并入濟南大學）、四川省輕工業(yè)研究院、重慶大學和遼寧（丹東）儀器儀表研究所。

    從上面的介紹可以看出，國產(chǎn)激光粒度儀的出現(xiàn)時間比早的同類產(chǎn)品晚了大約20年。早期國產(chǎn)儀器的落后，首先就是因為起步的時間晚。起步晚的原因有這么幾個：（1）國外開始研發(fā)激光粒度儀的時間正好是中國的文革時期，閉關鎖國，國內(nèi)的科研人員不太了解國外的動態(tài)，一直到1970年代末改革開放后，國外的產(chǎn)品賣到中國，以及國內(nèi)的科研人員到國外進修，才知道有這么一種產(chǎn)品。（2）激光粒度儀的應用對象是從事粉體、漿料、乳液、膠體以及噴霧的科研和生產(chǎn)單位，當時中國在生產(chǎn)和科研兩個方面都大幅落后于國外。國內(nèi)的應用需求對該產(chǎn)品的研發(fā)的拉動不強烈。（3）在改革開放前以及改革開放后的很長一段時間，科研由高校和研究機構(gòu)做，而生產(chǎn)由工廠做?？蒲袉挝桓惺懿坏綉玫男枨?，而生產(chǎn)單位即使知道有需求，也沒有能力設計一款光、機、電和計算機一體化的產(chǎn)品。（4）激光粒度儀作為當時的高精尖產(chǎn)品，需要激光器、電腦、形硅光電池陣列、半導體芯片等元器件和設備的配套，在上世紀六、七十年代，中國很難獲得這些東西。

    目前國內(nèi)的情況已經(jīng)改觀：一是國內(nèi)需求拉動強烈，二是各種電子元件、計算機軟硬件等都能在全球采購，三是國內(nèi)的研發(fā)人員理論基礎雄厚，創(chuàng)新意識強，能開展基礎理論研究和技術創(chuàng)新。經(jīng)過30多年的，國產(chǎn)激光粒度儀的技術已經(jīng)能和全球同行并駕齊驅(qū)，并有一部分實現(xiàn)了超越。

1.3 當前各種品牌對光學模型的應用

    從1.1節(jié)的討論可以看到，如果只考慮遠大于光波長的顆粒，并且只測量小角度的散射光（例如小于5°）的話，用衍射理論基本可以滿足粒度測量的要求。衍射理論的優(yōu)勢在于數(shù)值計算相對簡單，也不需要知道顆粒的光學參數(shù)（折射率和吸收系數(shù)）。

    但是如果想把粒度測量下限擴展到接近或小于光的波長，那么就不得不考慮更大角度范圍的散射光了。現(xiàn)在的粒度儀測量下限可以達到光波長的1/10左右。圖3表示出幾種亞微米顆粒的散射光強分布。從圖上可以看出，對小顆粒來說，不同粒徑散射光強度分布的差別，主要在大角度上，甚至大到180°。這就需要儀器的光學系統(tǒng)能測量0°到180°全角范圍的散射光，光學模型也必須用Mie散射理論了。

圖3 對數(shù)極坐標下亞微米顆粒的散射光強分布

圖中的坐標系是對數(shù)極坐標，方位角就是散射角，輻射線的長度是散射光強度的對數(shù)。(a)(d)分別表示1µm、0.5µm、0.25µm和0.12 µm的顆粒的散射光強分布。

    目前國內(nèi)國外的廠商，大多數(shù)采用復雜但嚴謹?shù)腗ie理論，但也有個別國外廠商還在用衍射理論。從所采用的光學模型來看，國內(nèi)廠商與國外的主流廠商是同步的。相反，個別國外廠商還在用夫朗和費衍射理論，就顯得抱殘守缺了。

1.4 對光學模型研究的新發(fā)現(xiàn)

    激光粒度測試技術的研究者和廠商都隱藏著一個困惑：激光粒度儀無法正常測量3微米左右的聚苯乙烯微球。這是為什么？

    國內(nèi)廠商——珠海真理光學儀器有限公司與天津大學的聯(lián)合團隊發(fā)現(xiàn)了造成這個困惑的根源：愛里斑的反常變化（ACAD）。通常我們都認為顆粒越小，愛里斑越大，于是顆粒大小與愛里斑大小之間有一一對應關系，所以粒度儀能夠根據(jù)散射光的分布推算粒度分布。但事實上在有的粒徑區(qū)間，會出現(xiàn)違反上述規(guī)律的情況：顆粒越小，愛里斑也越小。我們把這樣的粒徑區(qū)間叫做“反常區(qū)”。圖4是根據(jù)Mie散射理論用數(shù)值計算的方法模擬出的聚苯乙烯微球的愛里斑的變化。圖中粒徑從3微米到3.5微米的愛里斑尺寸的變化就屬于反常變化。對聚苯乙烯微球來說，3微米左右正好是在反常區(qū)，所以測量出現(xiàn)異常。研究論文發(fā)表于2017年。

圖4 愛里斑的反常變化現(xiàn)象

    該研究揭示出，任何無吸收或弱吸收的顆粒的光散射都存在反?，F(xiàn)象。如果顆粒無吸收，則存在無限多個反常區(qū)。對粒度測量有影響的主要是反常區(qū)，其所處的粒徑區(qū)間大約在0.5微米到10微米，具體位置跟顆粒與分散介質(zhì)的折射率以及光波長有關。顆粒折射率越大，反常區(qū)中心對應的粒徑越小。被測顆粒的粒徑落在個反常區(qū)的話，通常的反演算法就難以根據(jù)散射光的分布計算出正確的粒度分布。反?，F(xiàn)象對激光粒度測量的影響是普遍存在的，這將在第3節(jié)繼續(xù)討論。

    愛里斑反常變化現(xiàn)象的發(fā)現(xiàn)與研究，是國內(nèi)廠商與研究機構(gòu)對激光粒度測試技術的創(chuàng)造性貢獻，當然是世界范圍內(nèi)先于世界的。

2. 各種儀器的散射光接收系統(tǒng)

    粒度儀的散射光接收系統(tǒng)決定了儀器能否獲得充分的顆粒散射光信息，從而計算出被測顆粒的粒度分布。它是激光粒度儀的關鍵技術之一。

    亞微米顆粒的散射光能分布見圖5，其中假設了探測器的面積與散射角成正比，照明光是線偏振光，偏振方向垂直于散射面。其中圖（a）表示全角范圍內(nèi)完整的散射光能分布。從中可以看出，垂直偏振散射光是分布在0°到180°的全角范圍內(nèi)的，對0.3微米以細的顆粒來說，散射光能的主峰分布處在40°到90°的前向大角度上。由于光能分布的主峰位置（如果有）與粒徑之間有顯著的特異性，因此獲取40°以上的散射光信息對亞微米顆粒測量至關重要。

圖5 亞微米顆粒的散射光能分布曲線

(a) 全角范圍的光能分布，(b) 正入射平板玻璃窗口得到的；(c) 斜置梯形玻璃窗口得到的

    圖6是當前國內(nèi)外比較有影響力的幾種品牌的激光粒度儀的散射光接收系統(tǒng)的光路圖。其中圖 (a)稱為經(jīng)典光路，又稱正傅里葉變化光路。是激光粒度儀發(fā)展的早期就開始采用的光路。其特點是用平行激光束垂直入射到測量窗（池），相同角度的散射光通過傅里葉鏡頭后被聚焦到探測器的一個點上。其缺點是系統(tǒng)能接收的散射角受傅里葉鏡頭的孔徑限制。目前能達到的孔徑角是45°。如果顆粒分散在水介質(zhì)中，那么對應的散射角是32°。這樣的系統(tǒng)能測量的小粒徑約為0.4微米。

圖6 各種散射光接收系統(tǒng)原理圖

    圖6(b)是一種逆（反）傅里葉變換系統(tǒng)。它用會聚光垂直照射到測量池。在小散射角上也能會聚同角度的散射光。但是大角度的聚焦不良，不過可以在光學模型的數(shù)值計算上對此進行補償，并不影響對散射光分布的測量。它的好處是接收角不受透鏡孔徑限制。空氣中的接收角可達60°或更大，對應于水介質(zhì)中的散射角為41°以上。如果前向散射角繼續(xù)增大，大于49°時，就會受到全反射規(guī)律的約束，無法出射到空氣中，該以上角度稱為“全反射盲區(qū)”。盲區(qū)內(nèi)的散射光也就無法被探測器接收。這將丟失0.3微米及以細顆粒的散射光能主峰信息，見圖5(b)。這種系統(tǒng)一般還設置后向探測器，能接收大于139°的散射光。對0.1左右的顆粒測量有幫助。

    圖6(c)是一種是多光束方案，是為突破全反射的限制而專門設計的。它用一束光作為主光束，正入射到測量池，用另外一束或兩束光作為輔助光束，斜入射到測量池。如果設置后向探測器，則只需一束輔助光。。通常，為了盡量擴大儀器的測量范圍，主光束用紅色激光，而輔助光束用藍色LED光源。假設輔助光的對測量池的入射角為45°，那么在該輔助光的配合下，測量盲區(qū)可以減小32°。如果只有主光束時散射角測量上限為41°，那么現(xiàn)在的測量上限可達73°。但是它的缺點是，主光束照明情況下的散射光測量和輔助光照明下的測量（如果兩束輔助光，也要分別測量）必須分開進行，兩次測量的數(shù)據(jù)拼接，不是一件容易做好的事情。如果輔助光和主光用不同的波長，還需要同時獲取兩種波長所對應的折射率。有時要得到一種波長的折射率都有困難，兩種更難了。

    圖6(d)稱為偏振光強度差（PIDS）方案（該圖取自許人良博士未出版的書稿）。其特征是除了正入射的主光束以及配套的雙鏡頭散射光接收系統(tǒng)外，另外串聯(lián)了一個測量池，并在照明光行進路徑的側(cè)面設置對應不同散射角的探測系統(tǒng)。利用90°散射角周圍垂直偏振的散射光與平行偏振的散射光的分布差異，分析亞微米顆粒的大小。存在的問題是: （1）主光束獲得的信息與PIDS窗口獲得的信息之間如何拼接？（2）PIDS測量利用了多種波長的照明光，要想獲得多種波長的折射率是非常困難的。

    圖6(e)稱為“斜置平行窗口”方案或“照明光斜入射”方案。作者早于2010年提出該方案。它的優(yōu)點是用一束照明光就可以突破全反射的限制，卻沒有多光束方案的數(shù)據(jù)拼接難題。比如說斜置20，被接收的散射角就可以增加到60°。但是要消除全反射的影響，必須斜置70°。此時入射光在探測平面上不能良好聚焦，從而影響了大顆粒的測量。這是作者沒有在真理光學的產(chǎn)品中采用這種方案的原因，但有其他國產(chǎn)品牌在用這種方案。

    圖6(f)是真理光學在用的“斜置梯形窗口”光學系統(tǒng)。它只需一束照明光。測量池整體傾斜10°，不影響入射光的聚焦，測量池右側(cè)的玻璃做成梯形，讓接近或大于全反射臨界角的散射光從梯形的斜面出射。這種方案能讓前向散射角達到80°，使系統(tǒng)能夠接收所有亞微米顆粒的散射光能分布的主峰信息，見圖5(c)。這是目前前向散射接收角的光學系統(tǒng)，而且還只用了一束照明光，沒有數(shù)據(jù)拼接問題。是一種方案。

3. 反演算法與粒度測試結(jié)果的真實性

    反演算法就是把儀器測量得到的被測顆粒的散射光分布，結(jié)合事先根據(jù)光學模型的數(shù)值計算得到的預設的各種粒徑顆粒的散射光能分布（組成“散射矩陣”），反向計算出被測顆粒的粒度分布的計算機程序。粒度分布是激光粒度儀輸出的終結(jié)果，它能否真實反映被測顆粒的粒度，是激光粒度儀性能的終體現(xiàn)。

3.1 獲得真實的粒度測試結(jié)果的基本條件

    能否獲得好的粒度分布數(shù)據(jù)由以下三點決定：

（A）充分的被測顆粒的散射光分布信息，含有光能分布的主峰（如果有）；

（B）利用光學模型計算得到的散射光分布與粒度分布之間存在一一對應關系；

（C）合理的算法。

    各廠商的算法是技術秘密，外人無從知曉與評價。但是可以確定的是，如果條件（A）和（B）有缺失，一定會影響終的粒度分布結(jié)果。從第2節(jié)的敘述我們已經(jīng)看到，現(xiàn)有的各種散射光的接收方案都不能獲得0到180°的散射光信息，但是有的方案好一些，比如圖6(f)的方案；有的則有較大的信息缺口，比如圖6(a)和(b)所示的方案。作者在第1節(jié)中談到過，真理光學團隊發(fā)現(xiàn)的愛里斑的反常變化，將導致在被測顆粒是透明的條件下，對于粒徑落在第1反常區(qū)內(nèi)的顆粒，條件(B)不能滿足。

    相對來說，國產(chǎn)的真理光學做得比較好。對條件(A)，前向散射角（介質(zhì)中）的接收能力達到80°，能捕獲所有顆粒的光能分布主峰，并且只用一束照明光，避免了不同照明光的數(shù)據(jù)拼接。對條件(B)，基于對愛里斑反常變化的原創(chuàng)發(fā)現(xiàn)和規(guī)律的深入研究，通過軟硬件的結(jié)合，基本上解決了愛里斑反常變化對粒度分析的影響。

    現(xiàn)在國內(nèi)外各廠商都宣稱自己的儀器能測量小到100納米以細，大到數(shù)千微米，全量程*的粒度分布，但是上述條件(A) 和(B)的缺失，從客觀上限制了這些儀器的測量能力，使得它們宣稱的性能難以實現(xiàn)。

3.2 國外某儀器有多種反演計算模式，不同模式會給出不同的粒度分析結(jié)果

    有些國外儀器有多種反演計算模式。同樣的被測樣品，選不同的模式就會輸出不同的結(jié)果。

圖7 國外某儀器不同反演模式輸出不同結(jié)果的案例

    圖7是該儀器的實測案例。圖7(a)是標稱D50為150納米的聚苯乙烯微球標樣的測量結(jié)果。選“通用”模式時，D50為121納米，與樣品標稱值相差較遠，且分布曲線明顯展寬；選”單峰窄分布”模式時，D50為148納米，與樣品標稱值相符。圖7(b)是標稱D50為3微米的標樣的測量結(jié)果。選“通用”模式時，結(jié)果呈現(xiàn)多峰，與樣品的單分散特征不符；選“單峰窄分布”模式時，與樣品形態(tài)特征及標稱值相符。圖7(c) 是一個人工配制的3個峰的SiO2 微球。選“通用”模式時，結(jié)果只有1個峰，失真；選“多峰窄分布”模式時，曲線呈現(xiàn)2個峰，結(jié)果比“通用”模式接近真實，但還是有失真。

    從使用經(jīng)驗看，該儀器在測量顆粒標準樣品時只能用“單峰窄分布”模式去分析。因為顆粒標準物質(zhì)就是單峰窄分布的，所以這種做法頗有“量身定做”的意味。如果用 “通用”模式分析標準微球時，則經(jīng)常出錯。人們難免要問：“通用”模式連容易測量的顆粒標準物質(zhì)都給不出正確的結(jié)果，如何一般樣品的測量結(jié)果是正確的？還有一個疑問是：一種儀器的不同模式給出不同的結(jié)果，究竟哪一個是正確的結(jié)果？

    上述問題如果沒有合理的解答，那么從基本的科學邏輯出發(fā)，我們就可以得出這樣的結(jié)論：一種儀器有多種分析模式是儀器性能不完善的表現(xiàn)。國產(chǎn)的真理光學的儀器就沒有這樣的問題。它只有一個統(tǒng)一的反演模式，不論測什么樣品，都用同樣的算法。圖8是上述3個樣品用國產(chǎn)真理光學儀器測量的結(jié)果：150納米和3微米標樣的D50值和分布形態(tài)符合預期，實際樣品的3個峰也能得到正確的體現(xiàn)。

圖8 國產(chǎn)真理光學的激光粒度儀對三個樣品的測量結(jié)果

3.3 國內(nèi)外儀器對愛里斑反常現(xiàn)象的處理

    愛里斑的反常變化會導致一種散射光能分布對應多種粒度分布的可能性，從而使粒度儀得不到正確的粒度分布結(jié)果。圖7(b)所示的3微米標樣在某國外儀器“通用”模式下給出的失真的結(jié)果，就是因為3微米標樣的構(gòu)成材料是聚苯乙烯微球，這個粒徑正好處在這種材料顆粒的第1個反常區(qū)。該國外儀器沒能解決這個問題，所以在“通用”模式下得不到正確結(jié)果，而只能選用“單峰窄分布”這種量身定做的模式進行“特殊處理”。如果是普通的待測樣品，由于事先無法知道被測顆粒的粒度分布特征，不知如何去“特殊”，就難以給出正確的結(jié)果。

    目前除了真理光學以外，國內(nèi)外的激光粒度儀廠家的通行做法是，在計算散射矩陣（光學模型）時，即使被測顆粒是透明的，也要人為加一個吸收系數(shù)，常見的數(shù)值是0.1。這樣在光學模型中就不會出現(xiàn)反常現(xiàn)象，從而使反演結(jié)果穩(wěn)定，或者看上去比較正常。問題在于實際顆粒是無吸收的，人為加吸收必然使測量結(jié)果失真。

    圖9是一個碳酸鈣樣品的粒度測量結(jié)果。該樣品經(jīng)過沉降法的分離，去除了2微米以細的顆粒（可通過顯微鏡驗證）。碳酸鈣的折射率是1.69，無吸收。圖9(a)是真理光學儀器的測量結(jié)果，2微米以細的顆粒含量幾乎為零，與預期的一致。圖9(b)是在光學模型中加了0.1的吸收系數(shù)后的反演結(jié)果：在2微米后拖了一個長長的尾巴。我們知道真實的粒度分布中，這個尾巴是不存在的，這是人為加吸收系數(shù)所引起的錯誤結(jié)果。有些國外儀器為了避免假尾巴的出現(xiàn)，人為地在1到3微米之間減去一定比例的顆粒含量。這種人為主觀的處理會引起新的不良后果：如果在該粒徑區(qū)域真實存在顆粒，也會被人為減少其含量甚至清零。圖8(c)所示的SiO2樣品在1微米到3微米之間有一個小峰，但是用該進口儀器測量的結(jié)果如圖7(c)所示：無論用什么模式分析，這個真實存在的小峰都消失了。

圖9 在光學模型中給透明顆粒加吸收系數(shù)的后果

（a）實際的粒度分布 （b）光學模型中加0.1吸收系數(shù)后得到的結(jié)果

    可見，當透明顆粒的粒度分布處在反常區(qū)時，通過人為加吸收系數(shù)的方法無論怎么做，都有問題。目前國產(chǎn)的真理光學是解決了愛里斑反常變化困擾的廠家。

3.4 國內(nèi)外激光粒度儀對亞微米顆粒的測量能力的比較

    采用圖6(b)所示的散射光接收系統(tǒng)的儀器是國外品牌，在中國占有很可觀的*。然而這種結(jié)構(gòu)由于丟失了0.3微米以細顆粒的光能分布主峰的信息（見圖5(b)），從而注定了難以很好地測量0.3微米以細的實際樣品（有別于標樣，因此通常都用“通用”模式）。

圖10 某進口儀器和國產(chǎn)真理光學儀器測量納米硅碳顆粒樣品結(jié)果的比較

    圖10是某進口儀器和國產(chǎn)真理光學儀器測量納米硅碳顆粒樣品結(jié)果的比較。圖10(a)是國外儀器的結(jié)果，圖10(b)是真理光學的測量結(jié)果。兩張圖中的上圖是粒度分布，下圖是擬合光能分布與實測光能分布的對比。比較兩種結(jié)果，可判斷真理光學的結(jié)果更加真實、可靠。理由是：

（A）真理光學的結(jié)果擬合殘差只有0.43%，而進口儀器的擬合殘差高達5.25%。前者擬合更好。

（B）真理光學給出的粒度分布曲線是單峰的，而進口儀器的結(jié)果是多峰的。經(jīng)驗告訴我們，正常制造出來的樣品極少出現(xiàn)多峰的情況.

（C）從光能擬合曲線看，進口儀器在第40單元后測量值（綠線）和擬合值（紅線）之間出現(xiàn)較大的偏離，而國產(chǎn)儀器的兩條曲線非常一致。

類似的0.3微米以細顆粒的測量案例還有很多。

4. 激光粒度儀行業(yè)的未來發(fā)展問題

    前面三節(jié)從激光粒度儀的光學模型、散射光接收系統(tǒng)和反演算法及實際測量能力等三項硬核技術方面對比了國內(nèi)外激光粒度儀的技術水平和測試性能，表明國產(chǎn)激光粒度儀不會遜色于國外同類產(chǎn)品。真理光學團隊發(fā)現(xiàn)的愛里斑反常變化現(xiàn)象及規(guī)律、斜置梯形窗口克服前向超大角測量盲區(qū)以及統(tǒng)一的反演算法等技術，則優(yōu)于世界同行。但是，對于激光粒度儀整個行業(yè)來說，還存在需要改進甚至急需改進的地方。我的建議如下：

（1）國內(nèi)外的廠家都應正視粒度測量數(shù)據(jù)對比困難的問題

    目前，全球范圍內(nèi)激光粒度儀測量實際樣品時給出的數(shù)據(jù)經(jīng)常是不可比的。對同一顆粒樣品，不同品牌的儀器的測量結(jié)果不可比；同一廠家生產(chǎn)的儀器，不同型號之間的結(jié)果不可比；更絕的是同一臺儀器不同反演模式給出的結(jié)果也不可比。到目前為止，對這三個“不可比”，都沒有人拿出令人信服的、符合科學的解釋。

    作者嘗試分析一下原因。從理論上說，大家測量相同的樣品，使用相同原理的儀器，應該得到相同的結(jié)果（在合理的誤差范圍內(nèi)）。兩個結(jié)果如有不同，那么至少有一個結(jié)果是錯的，甚至兩個結(jié)果都是錯的。這就說明當前國內(nèi)外的各種激光粒度儀還存在不完善的地方。這些不完善包括：（A）光散射模型上，有的儀器還在使用夫朗和費衍射理論；（B）光的全反射現(xiàn)象的制約，或者大角與小角散射光數(shù)據(jù)拼接的困難，導致有的儀器沒有獲得或者沒有獲得大角散光的信息，影響了0.3微米以細顆粒測量的性；（C）愛里斑的反常變化引起粒徑與散射光分布之間一一對應關系的破壞，除了真理光學，其他品牌都采用人為地在光學模型中給顆粒添加吸收系數(shù)的方法來敷衍性地解決，但是沒有真正解決，導致結(jié)果失真；（D）一種儀器有多種反演算法，從邏輯上就可斷定這樣的算法是不完善的，而根據(jù)作者分析，這個不完善又和不完善點（B）和（C）有關。（E）儀器廠商為了迎合客戶的偏好，對原始的粒度分析結(jié)果進行了失實的修飾，比如把多峰分布改為單峰分布，把粒度分布中粗、細方向的展寬改窄等等。

    儀器技術上的不完善，需要國內(nèi)外廠家去正視問題，然后改正原先的不足。

（2）國內(nèi)用戶應破除對進口儀器的迷信心理

    國內(nèi)很多用戶都認為進口儀器就是比國產(chǎn)儀器好。國內(nèi)用戶要是遇到進口儀器的測量結(jié)果與國產(chǎn)儀器數(shù)據(jù)不一致的情況，反應就是國產(chǎn)儀器錯了。我在前面分析過，進口儀器不比國產(chǎn)儀器好，請用戶客觀判斷。

    另一方面，國內(nèi)有的儀器廠家也拿自己的儀器結(jié)果能和國外的結(jié)果相一致，來證明自己的高水平。這是自我矮化行為，當然也表明該廠家對自己制造的儀器沒有信心。但是國內(nèi)廠家的這種行為會助長用戶原本就有的認為國產(chǎn)儀器水平低的心理。

（3）激光粒度儀測量數(shù)據(jù)的正確運用問題

    激光粒度測試報告的核心內(nèi)容是體積粒度分布。形式上可以是表格或者曲線。有時為了簡潔起見，用特征粒徑來表示粒度分布。常見的是D10、D50和D90三個數(shù)。其中D50表示樣品顆粒的平均粒徑（與之并行的也可用D[4,3]）），而D10和D90分別表示粒度分布往小粒徑和大粒徑方向延伸的寬度。在大多數(shù)情況下，一個粉體樣品的平均粒徑和分布寬度（或者均勻性）確定了，其粒度特征也就基本確定了。激光粒度儀國家標準（GB/T 19077-2016/ISO 13320：2009）中明確規(guī)定，不允許用D100的數(shù)值。這是因為從概率論分析，D100的數(shù)值是不穩(wěn)定的，另外D100實際上并不代表顆粒樣品中的粒直徑。如果把這個值作為粒，可能會引發(fā)嚴重的應用后果。

    然而在有些激光粒度儀的應用行業(yè)，例如電池的正負極材料行業(yè)，其國家標準中就把激光粒度儀的Dmax（即D100）作為控制指標。該行業(yè)內(nèi)上下游間的粒度控制指標中，不僅包含了D100，還包還可了D0和Dn10，這些都是誤導性的應用。

（4） 激光粒度儀的測量下限和上限被嚴重夸大的問題

    目前激光粒度儀的測量范圍動輒下限10納米，上限5000微米以上。這顯然被嚴重夸大了。這會誤導客戶，擾亂市場。需要行業(yè)自律。國家相關組織也要加強督導的力度。